研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律，从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响......

针对水听器的频响曲线会在透声帽谐振频率处出现共振峰, 使水听器频响曲线失真, 工作频带变窄等问题。本文考虑水听器的工作环境, ......

In this work,a novel high overload Ka-band power sensor with a Micro-electro-mechanical system (MEMS) cantilever beam is......